VNA를 이용한 PDN 임피던스 측정

One Port Self Impedance 측정

선택된 포인트에서 파워와 그라운드 plane 사이의 임피던스를 측정한다.

One Port Self Impedance 측정의 문제점

High reflection에서 VNA 정확도는 낮다.
Low-Z DUT와 직렬로 연결 불연속을 갖는다.
VNA의 uncertainty는 반사계수의 절대값이 대략 1일 다소 커진다.
    HP8720의 uncertainty는 반사계수의 절대값이 대략 1일 때 50~2000MHz에서 1.5%이다.
    → Impedance uncertainty는 0.357 ohm이다.
    → 측정 에러를 낮추려면, ZDUT는 ohms 범위가 되어야 한다.

Two Port Self Impedance 측정

S11 대신에 S21을 측정한다.
S21의 uncertainty는 작다.
ZDUT 대신에 Zp는 50ohm과 직렬이다.

Two Port Self Impedance 읽기

ZDUT = Z11 = S21 * 25ohm
    HP8720의 |S21| uncertainty:
        <1dB in the |S21| > -60dB range
        <3dB in the |S21| > -70dB range
    HP8720의 Impedance uncertainty:
        1dB(10%) for ZDUT > 25 mohm
        3dB(40%) for ZDUT > 8 mohm

ZDUT는 수십~수백 mohms 범위가 된다.